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印聯(lián)傳媒資訊】中國蘇州知名企業(yè)近期完成了商業(yè)化熱氣泡式噴墨打印頭產(chǎn)品的開發(fā)，即將率先投入市場。據(jù)了解，該產(chǎn)品打印分辨率高達1200dpi，熱氣泡式噴墨打印頭產(chǎn)品的芯片由蘇州微納制造中試線加工。
熱氣泡噴墨打印基本原理
熱氣泡式噴墨的過程如下：
在正常情況下噴墨頭內(nèi)部的墨水在表面張力的作用下與外界大氣壓達成相對的平衡，處于穩(wěn)定狀態(tài)。
當噴墨頭接收到打印信號后，噴墨頭內(nèi)部的加熱元件迅速升溫，使其附近的墨水溫度急劇上升并汽化，從而形成小氣泡。小氣泡逐漸變大，形成蒸氣膜。
當打印信號消失后，持續(xù)的余熱使氣泡進一步膨脹，內(nèi)部產(chǎn)生的壓力將墨水從噴嘴處擠出，同時加熱器件的溫度開始下降。
隨著加熱器件表面溫度的降低，氣泡和墨水分界處開始冷卻，由于墨水前端已從噴嘴處擠出，而后端又由于墨水收縮而使噴頭內(nèi)部壓力減小，噴嘴處產(chǎn)生負壓，再將墨水吸回到噴頭內(nèi)。
當噴頭內(nèi)氣泡消失后，負壓力繼續(xù)作用，墨滴與噴嘴完全分離，剩余墨水被吸回到噴頭內(nèi)，噴頭回到初始平衡狀態(tài)。
熱氣泡式噴墨技術的優(yōu)點：噴頭生產(chǎn)成本較低。
熱氣泡式噴墨打印頭加工工藝，涉及高性能電阻薄膜制備、異型孔DRIE刻蝕、高精度高均勻性噴射結構制備等關鍵技術，其中包含微結構加工工藝、釋放工藝、犧牲層材料工藝、結構層材料工藝等多種工藝模塊。
蘇州微納制造中試線是國內(nèi)首個全開放、市場化運營的中試平臺，在熱氣泡式噴墨打印頭產(chǎn)品加工過程中，憑借獨具優(yōu)勢的工藝模塊和相關核心技術，成功幫助該客戶實現(xiàn)了科研級、工業(yè)級熱氣泡式噴墨打印頭的工藝開發(fā)，為客戶提供了可批量生產(chǎn)的噴墨頭產(chǎn)品。
蘇州微納制造中試線完成了高均勻性電阻薄膜沉積、低溫低應力PECVD薄膜沉積、犧牲層釋放、噴孔結構層制備、有機材料層刻蝕及釋放、高深寬比異型孔深硅刻蝕等多種新工藝和特殊工藝的開發(fā)，以及可用于噴墨頭產(chǎn)品的工藝集成技術的開發(fā)。
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